» 气体纯化装置的设置，应符合下列要求：

1、气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择；
2、气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时，气体纯化间宜与气体入口室合建；
3、各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时，也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内；
4、气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。

» 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设置在气体入口室。

» 气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，
气体纯化间(站)或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：

1、应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；
2、氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；
3、应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置；
4、应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁；
5、应设置导除静电的接地设施。

» 洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列技术措施：

1、管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理；
2、应设置导除静电的接地设施；
3、氧气引入管道上应设置自动切断阀。

» 各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过 1 瓶时，气瓶可设置在洁净室(区)内，但应采取不积尘和易于清洁的措施。

» 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜符合下列规定：

1、气体纯度大于或等于 99.999999％时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀；
2、气体纯度大于或等于 99.999％、露点低于—76℃时，宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀；
3、气体纯度大于或等于 99.99％、露点低于—60℃时，宜采用内壁抛光的不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其余气体管道宜采用球阀；
4、气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

» 气体管道连接，应符合下列规定：

1、管道连接应采用焊接；
2、不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊；
3、管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；
4、管道与设备的连接应符合设备连接的要求。当采用软管连接时，宜采用金属软管。