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洁净工艺气体系统验证
洁净工艺气体系统验证

» 常用气体主要包括氢气、氮气、氧气、氩气和氦气,在电子工厂中它们的供气方式主要有三种:
一、在电子工厂内或邻近处设制气装置,采用管道输送至用气厂房、车间或设备;
二、外购液态气体,在电子厂房内设液态气体储罐、气化器及气体过滤、调压、 输配装置,由管道送至用气厂房、车间或设备;
三、外购瓶装压缩气体,瓶装压缩气体有单个钢瓶或钢瓶集装格或长管气瓶拖车等形式,在电子工厂内设压缩气体钢瓶储存、气体分配装置或汇流排,再由管道输送至用气厂房、车间或设备。

» 常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、瓶装气体。

» 氢气、氧气管道的终端应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。放散管引至室外,应高出本建筑的屋脊 1m,并应采取防雨、防杂物侵入的措施。


纯化装置

» 气体纯化装置的设置,应符合下列要求:

1、气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;
2、气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时,气体纯化间宜与气体入口室合建;
3、各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时,也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内;
4、气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。

» 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设置在气体入口室。

» 气体纯化间(站)或气体入口室内,设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时,
气体纯化间(站)或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定,并应符合下列规定:

1、应靠外墙设置,并应设置防爆泄压设施;
2、氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀;
3、应具有良好的自然通风,并应设置事故排风装置;
4、应设置气体泄漏报警装置,并应与事故排风装置联锁;
5、应设置导除静电的接地设施。

氧气管道

» 洁净厂房内的氧气管道等,应采取下列技术措施:

1、管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理;
2、应设置导除静电的接地设施;
3、氧气引入管道上应设置自动切断阀。

» 各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过 1 瓶时,气瓶可设置在洁净室(区)内,但应采取不积尘和易于清洁的措施。

工艺要求

» 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择,宜符合下列规定:

1、气体纯度大于或等于 99.999999%时,应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀;
2、气体纯度大于或等于 99.999%、露点低于—76℃时,宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管,阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀;
3、气体纯度大于或等于 99.99%、露点低于—60℃时,宜采用内壁抛光的不锈钢管,除可燃气体管道宜采用波纹管阀外,其余气体管道宜采用球阀;
4、气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

气体管道

» 气体管道连接,应符合下列规定:

1、管道连接应采用焊接;
2、不锈钢管应采用氩弧焊,宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊;
3、管道与设备或阀门的连接,宜采用表面密封的接头或双卡套,接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫;
4、管道与设备的连接应符合设备连接的要求。当采用软管连接时,宜采用金属软管。


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11年行业经验沉淀
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